在半導體的製程上，當節省了氫氣的支出，能降低對化石能源的依賴，也可以減少費用與減緩暖化。我們提供回收製程氣體的技術，以「富氫尾氣回收與純化設備」收集MOCVD製程後端排出的尾氣。

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​傳統的模式利用高溫燃燒分離NH3與H2，不僅製造廢熱也浪費了氫氣，我們提出的方案透過氣提分離技術，將混和的尾氣分離、回收並純化，能供應回製程使用，降低生產成本。