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提升處理半導體製程尾氣的效率

​  富氫尾氣回收

在半導體的製程上,當節省了氫氣的支出,能降低對化石能源的依賴,也可以減少費用與減緩暖化。我們提供回收製程氣體的技術,以「富氫尾氣回收與純化設備」收集MOCVD製程後端排出的尾氣。

​傳統的模式利用高溫燃燒分離NH3與H2,不僅製造廢熱也浪費了氫氣,我們提出的方案透過氣提分離技術,將混和的尾氣分離、回收並純化,能供應回製程使用,降低生產成本。

產品特色

  • 將高含氫量的製程尾氣進行分離與回收並純化

  • 節能環保,比傳統的燃燒式尾氣處理設備更省能源

  • 回收氫氣量平均可達80%,提供純度99.999%氫氣

  • 能減少工廠外購氫氣的費用,投資回報率高

​特色

製程尾氣處理

尾氣混和氣體包含大量的氫氣、氨氣、與氮氣,hiPower專門處理LED製程中MOCVD設備中含大量氫氣的尾氣

​各氣體流量範圍:

  • 氫氣 120 - 345 SLPM;

  • 氨氣  65 - 150  SLPM; 

  • 氮氣 135 - 240 SLPM;

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